治療前，首先要用立體定位系統對病灶進行診斷定位，立體定位系統是一個特制的坐標系，病人在立體定位系統相對固定後，通過CT/MRI對病灶進行斷層掃描可顯示出病灶與坐標系各參考點的相對位置。

　　診斷定位後，治療計劃系統自動對CT/MRI掃描圖片進行處理，計算機重建體表、病灶和其週圍敏感組織的三維形態，並依據醫生開據的處方劑量進行治療規劃，計算出治療所需靶點數、靶點坐標、每個靶點使用的準直器號和照射時間等。

　　在接受到治療計劃系統的有關數據後，電氣控制系統控制治療床依次將各靶點送到焦點，並打開相應的準直器進行定量的輻照，一次性、致死性的摧毀靶點內的組織，達到治療腫瘤的目的。